Білик Т. Ю. "Структурні, електричні та оптичні властивості пористого кремнію для фотоелектричних перетворювачів"

Робота присвячена дослідженню шарів пористого кремнію, отриманих шляхом хімічного травлення, та їх застосуванню в технології виробництва фотоелектричних перетворювачів у якості антивідбиваючого покриття. В роботі було проведене комплексне дослідження пористих шарів, отриманих хімічним травленням, з'ясовані взаємозв'язки між умовами отримання та властивостями пористих шарів. Запропонована модель провідності пористих шарів аналогічна до провідності аморфного кремнію. Доведено, що пористий кремній, отриманий хімічним травленням за своїми фотолюмінісцентними та світловідбиваючими властивостями не поступається пористим шарам отриманим електрохімічним травленням. Показано, що пористі шари, утворені у травнику HF:NaNO2:H2O, можуть успішно застосовуватись у технології фотоелектричних перетворювачів у якості антивідбиваючого покриття. Технологія створення пористого шару хімічним травленням може бути адаптована для промислового серійного виробництва та зменшити його вартість за рахунок заміни енергоємного процесу нанесення нітриду кремнію.