Бродніковська І. В. Розробка високотеплопровідних підкладок багатокристальних мікрозбірок для роботи в екстремальних умовах

Дисертаційна робота присвячена розробці високотеплопровідних підкладок крупноформатних багатокристальних мікрозбірок на основі нітриду кремнію для роботи в екстремальних умовах великих теплових та механічних навантажень, а також, розробці методики визначення теплопровідності зразків малого розміру з різною геометрією і шорсткістю поверхні в стаціонарних умовах, та електричного моніторингу мікроструктури кераміки на основі нітриду кремнію. Встановлено, що кераміка Si3N4-5об.%Al2O3, отримана методом гарячого пресування з тривалістю ізотермічної витримки 30-35 хв та охолоджена зі швидкістю 40-50 °С/хв, з добавками TiO2 у кількості до 4об.% характеризується найбільшою теплопровідністю (до 65 Вт/(м*К)), високим питомим опором (10^12-10^13 Ом*см), твердістю (до 17 ГПа) та тріщиностійкістю (до 7 МН/м^3/2), перспективна у якості діелектричних шарів підкладок МСМ. Показано методики керування питомим опором електропровідного шару при сталому об'ємному вмісті провідної фази зміною дисперсності провідних частинок та зміною температури ізотермічної витримки. Розроблені, теоретично обґрунтовані та реалізовані методи: оцінки теплопровідності матеріалів за допомогою набору зондів, що розширило діапазон вимірювань (до 20%); моніторингу мікроструктури нітридокремнієвої кераміки на основі визначення енергії активації, діелектричного відгуку та побудові електричних моделей структури.