Приходько А. В. Підвищення точності позиціювання мікроманіпуляційних п'єзоелектричних систем

Вирішена задача підвищення точності переміщень п'єзоелектричних мікроманіпуляційних систем шляхом створення методик вимірювання та реєстрації лінійних і кутових мікропереміщень виконавчих елементів систем, що базуються на використанні методів відеовимірювань. Розроблено динамічну модель п'єзоелектричних напрямних, яка враховує їх конструктивні особливості та дозволяє визначити лінійні переміщення в нанодіапазоні. Створено математичну модель реального переміщення робочого інструменту триосьових мікроманіпуляційних систем, з врахуванням перехресних зв'язків та конструктивних особливостей таких систем. Запропоновано нові методи та розроблено установки для вимірювання лінійних та кутових переміщень п'єзоелектричних напрямних мікроманіпуляційних систем, які підвищують точність вимірювання та розширюють функціональні можливості за рахунок проведення безперервних вимірювань та накопичення відеоінформації. На основі теоретичних та експериментальних досліджень розроблено компенсаційну модель похибок позиціювання, яка дозволяє підвищити точність та знизити похибку позиціювання робочих інструментів мікроманіпуляційних п'єзоелектричних систем в 1,5-2 рази.