Сегеда О. В. Вимірювання температури мікрооб'єктів за допомогою спектру комбінаційного розсіювання світла

Дисертація присвячена проблемі безконтактного вимірювання температури з застосуванням методу комбінаційного розсіювання світла для визначення температури поверхні. Виконані у дисертації експериментальні дослідження дають змогу визначати температуру об'єктів малих розмірів без попереднього калібрування оптичної системи. Експериментально підтверджено можливість використання вуглецевих нанотрубок, як стандартних калібрувальних зразків для створення високоточної устави - термометра, в основу роботи якого покладено метод комбінаційного розсіювання світла. Запропоновано і апробовано аналітичні вирази для визначення методичної та інструментальної похибки створеної устави для вимірювання температури методом комбінаційного розсіювання світла. Встановлено теоретично і підтверджено експериментально залежність відносної інструментальної похибки від вибраного детектора зчитування спектру, його параметрів та розміщення.