Савицький А. Ю. Радіовимірювальні перетворювачі вологості на основі МДН-структур

Об'єктом дослідження є процес перетворення відносної вологості повітря чистих кімнат у частотний сигнал за функціональною залежністю; метою роботи є підвищення чутливості радіовимірювальних перетворювачів вологості повітря чистих кімнат для мікроелектронної промисловості, на основі автогенераторних структур з від'ємним диференційним опором та первинним перетворювачем вологості на основі двозатворного вологочутливого МДН-транзистора; методи дослідження ґрунтуються на використанні рівнянь фізичної електроніки; теорії змінних стану, теорії функції комплексної змінної; теоретичні результати - розробка елементів теорії взаємодії вологи з чутливими транзисторними МДН -структурами, які містять вологочутливий шар пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика. Теоретичне дослідження впливу вологості повітря на величину повного опору та параметри елементів еквівалентної схеми і граничну частоту функціонування вологочутливих транзисторних МДН-структур. Встановлення теоретичної можливості підвищення завадостійкості і чутливості вимірювання параметру вологості повітря "чистих кімнат" з використанням радіовимірювальних перетворювачів вологості на основі МДН-структур; практичні результати - створення методики розрахунку параметрів первинного перетворювача вологості на основі вологочутливих двозатворних МДН-транзисторних структур з шаром пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика; розробка радіовимірювальних приладів для вимірювання вологості повітря на основі вологочутливих МДН-транзисторів; створення програм розрахунку залежності частоти вихідного сигналу даного приладу від величини вимірюваного параметру. Ступінь впровадження - результати дисертаційної роботи впроваджено в НДІ індикаторних приладів "Гелій" (м. Вінниця) та у навчальний процес при вивченні спецкурсу "Сенсори фізичних величин". Сфера (галузь) використання - підприємства електронної промисловості .