Лученко А. І. Фізико-хімічна модифікація поверхні монокристалічного кремнію та її властивості

Дисертація присвячена розробці методичних особливостей отримання наноструктурованих однорідних плівок кремнію як нового багатофункціонального матеріалу та дослідження їх властивостей з метою цілеспрямованого керування характеристиками наноструктурованих плівок при їх використанні в мікро- та наноелектроніці. Дослідження морфології поверхні показало, що при хімічному травленні відбувається модифікація поверхні підкладок і на вихідному рельєфі з являються нанорозмірні елементи структури. Запропоновано механізм формування наноструктурованого шару на поверхні монокристалічного кремнію. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється її фоточутливість: так у видимому діапазоні спектра максимальну фоточутливість мають наноструктуровані плівки кремнію товщиною 10-15 нм, а в ультрафіолетовому - 20-25 нм. Методом скануючої тунельної спектроскопії проведено вивчення локальної щільності електронних станів біля рівня Фермі на поверхні наноструктурованого кремнію в залежності від товщини наноструктурованої плівки. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється і її тип провідності. Дослідження газової чутливості структур на основі наноструктурованого кремнію показало, що існують резонансні частоти, на яких параметри другої похідної вольт-амперної характеристики досягають максимуму, а при зміні газового середовища відбувається нерівномірний зсув резонансних частот.