Пукач А. І. Методи та компоненти комп'ютерної системи автоматичного контролю резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем

У дисертаційній роботі розв'язано наукову задачу розроблення методів та засобів автоматичного контролю резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем. Розроблено метод автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, який ґрунтується на побудованому алгоритмі збалансування мостової схеми та моделях, що дає змогу автоматизувати процес визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, а також розроблений відповідний алгоритм оптимізації даного методу. Розроблено мікроконтролер автоматичного контролю величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС на базі мікроконтролера сімейства Arduino, та спеціалізоване програмне забезпечення для нього. Крім того, в роботі розроблено метод автоматичного визначення наближеного значення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, а також метод автоматичного визначення діапазону значень величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, що ґрунтується на розробленому алгоритмі та розробленій схемній моделі, і дає змогу здійснити вибір границь діапазону значень величини електричного опору в автоматичному режимі. Методи, розроблені в дисертаційній роботі, закладені в основу розробленої спеціалізованої комп'ютерної системи автоматичного контролю резистивних параметрів МЕМС, і в сукупності виступають в якості ефективного механізму розв'язання поставленої задачі автоматизації контролю резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем.