Уколов О. І. Утворення дефектів та низькорозмірних атомних структур у приповерхневих шарах германію під час деформації в інтервалі температур 300 – 600 К

Досліджено утворення дефектів у приповерхневих шарах Ge під час деформації згинання або стискання в температурному інтервалі 300-600К з одночасним ультразвуковим опроміненням. Розроблено новий структурно – чутливий зондовий метод визначення рівня дефектності в приповерхневих шарах, оснований на вимірюванні параметрів рекомбінації нерівноважних носіїв заряду. Методом оптичної та атомно-силової мікроскопії виконані дослідження поверхні зразків монокристалічного Ge, циклічно деформованих з одночасною ультразвуковою обробкою. Встановлено, що деформування кристалів породжує на поверхні періодичні дефектні структури, зумовлені масопереносом при наявності градієнта напружень і виникненні спрямованих дифузійних потоків. Вперше показана можливість створення на поверхні Ge за рахунок дислокаційно-поверхневої дифузії наноструктур типу ямка-острівець, властивості яких вивчені за методами атомно-силової мікроскопії та спектроскопії комбінаційного розсіювання світла.