Торяник І. М. Структурний стан і фізико-механічні властивості іонно-плазмових покриттів AlN-TiB2-TiSi2, (Zr-Ti-Cr-Nb)xN1-x і (Ti-Al-Zr-Nb-Y)xN1-x

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0414U005423

Облікова картка дисертації

0414U005423.pdf

Здобувач

Торяник Ігор Миколайович

Спеціальність

01.04.07 - Фізика твердого тіла

Дата захисту

24-11-2014

Спеціалізована вчена рада

Д 64.245.01

Інститут електрофізики і радіаційних технологій НАН України

Анотація

Вперше методами магнетронного розпилення керамічної мішені сформовано багатофазні покриття системи AlN-TiB2-TiSi2 та вакуумно-дугового осадження із суцільнометалевих катодів сформовані багатоелементні нітридні покриття складу (Zr-Ti-Сr-Nb)N; (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. Розпилення багатофазної мішені складу AlN-TiB2-TiSi2 формує покриття з аморфноподібною структурою з областю упорядкування ~ 1 нм та коефіцієнтом в'язкопластичності 0,07. Парціальний тиск азоту впливає на формування фазового складу багатоелементного покриття (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. За умов тиску Р = 0,05 Па азотна атмосфера термодинамічно найменш стійка, а підвищення тиску азоту до Р = 0,5 Па переводить систему у стійкіший стан із нанокристалічною двофазною структурою, твердість змінюється від 34,1 ГПа при найменшому тиску до 48,9 ГПа при найбільшому тиску і вмісті азоту 36 ат.%. Галузь використання: фізика твердого тіла, фізика тонких плівок і покриттів

Читати повністю

Керівник роботи

Береснєв В'ячеслав Мартинович

Офіційні опоненти

Пилипенко Микола Миколайович
Перекрестов В'ячеслав Іванович

Файли

aref.doc

dis.doc

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів