Олешкевич А. І. Термічно індуковані стурктурно-фазові перетворення в тонкоплівкових системах Cu-Sn-Mn та Pd-Ho

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.13 - фізика металів. - Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевіча НАН України, Київ, 2015. Дисертаційна робота присвячена експериментальному та теоретичному дослідженню закономірностей структурно-фазових перетворень при термічному обробленні у вакуумі та водні нанорозмірних плівкових композицій Cu/Sn, Sn/Cu, Cu/Mn, Sn/Cu/Mn, Pd/Ho. Результати, які мають наукову новизну, стосуються впливу на розвиток дифузійного фазоутворення: фактору нанорозмірності, послідовності розташування шарів відносно підкладинки та їх інверсії, додавання третього шару до двошарових композицій, атмосфери термічної обробки, фізико-хімічних процесів на зовнішній поверхні. Розвинуто аналітичні та феноменологічні модельні уявлення щодо дифузійного фазоутворення в об'ємі та росту оксиду матеріалу "нижнього" шару на зовнішній поверхні нанорозмірних плівкових систем за різних механізмів дифузії під дією термічного впливу. На цій основі запропоновано матеріалознавчі критерії для визначення режимів термічного оброблення, які забезпечують підвищення стабільності робочих тонкоплівкових елементів мікроприладобудування та керованості технологічних процесів їх виробництва.