Руденко Р. М. Вплив олова на формування нанокристалічного кремнію в тонких плівках a-Si та a-SiOx

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0415U002622

Облікова картка дисертації

0415U002622.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

25-05-2015

Спеціалізована вчена рада

Д 26.001.23

Київський національний університет імені Тараса Шевченка

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню впливу ізовалентної домішки олова на процеси формування нанокристалічного кремнію у тонких плівках кремнію та субоксиду кремнію. Показано, що домішка олова сповільнює та обмежує ріст середніх розмірів кремнієвих кристалітів в аморфній матриці кремнію з ростом температури ізохронного відпалу. Для плівок аморфного кремнію, легованих оловом, середні розміри кристалітів кремнію є меншими 10 нм у більш широкому температурному діапазоні, ніж для нелегованих плівок. Встановлено, що легування оловом плівок субоксиду кремнію понижає температуру кристалізації включень аморфного кремнію. При цьому у легованих оловом плівках субоксиду кремнію нанокристали Si утворюються менші за розміром порівняно зі зразками без олова.

Читати повністю

Файли

aref.pdf

dis.pdf

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів