Тинькова А. А. Вплив низькотемпературного відпалу на дифузійні зміни структури нанорозмірних плівкових систем Au/М, Ag/М, Pt/М (М - перехідний метал)

Дисертаційну роботу присвячено експериментальному та теоретичному дослідженню впливу низькотемпературного (0,3Тпл - 0,5Тпл) термічного оброблення на процеси масоперенесення та структурно-фазові перетворення у нанорозмірних плівкових системах Au/Cu, Au/Ni, Ag/Ti, Pt/Fe. Результати, які мають наукову новизну, стосуються закономірностей процесів упорядкування та "холодної гомогенізації" хімічного складу, впливу водне-, аргон- та кисневмісної (вакуум 10-3 - 10-6 Па) атмосфер відпалу на формування структури та фазового складу, феноменологічного опису кінетики низькотемпературного масоперенесення у двошарових нанорозмірних композиціях. Для досліджених систем "благородний метал/перехідний метал" розвинуто багатостадійну модель дифузії, як сукупність процесів масоперенесення рухомими бімодальними границями зерен та упорядкування. На прикладі модельної системи Pt/56Fe/57Fe проведене порівняння енергій активації само- та гетеродифузії у нанорозмірних системах, визначено умови переходу від стадії зернограничної дифузії до стадії об'ємної дифузії. Розроблено практичні рекомендації щодо підвищення термічної стабільності робочих плівкових елементів у сучасних технологіях мікроприладобудування.