Маркіна О. М. Вдосконалення телевізійної вимірювальної системи для визначення геометричних розмірів топологічних елементів типу шкал та сіток

. Дисертація присвячена вдосконаленню телевізійної вимірювальної системи для визначення геометричних розмірів топологічних елементів типу шкал та сіток. У роботі розроблено інтегральний підхід та вдосконалено телевізійну вимірювальну систему, що побудована на базі оптичного мікроскопу та телевізійної камери із ПЗЗ-матрицею. Проведено аналіз чинників, що впливають на похибку вимірювання та обґрунтовано шляхи їх зменшення. Розроблено та апробовано спосіб вимірювання геометричних розмірів шкал та сіток. Запропоновано в якості мір для калібрування телевізійної вимірювальної системи застосовувати мікроканальну пластину та компакт-диск. Проведено термографічне дослідження ПЗЗ-матриці та елементів мікросхеми телевізійної камери Novus 130ВH і вдосконалено конструкцію системою охолодження камери. Визначено особливості налаштування галогенної лампи JC та запропоновано нове джерело освітлення, а саме рідкокристалічний дисплей мініатюрних розмірів, при застосуванні якого розширюється робочий діапазон на 35%, збільшується чутливість на 30%, зменшується електроспоживання з 45,5 Вт до 5 Вт, що забезпечило зменшення в 9 разів у порівнянні з галогенною лампою. Застосування рідкокристалічного дисплею в якості джерела освітлення дозволяє зменшити габаритні розміри ТВС від 410 х 520 мм2 до 26 х 520 мм2 в площині та вагу з 2,5 кг до 2 кг (без урахування ПК і оптичної лави), що робить систему більш компактною та мобільною. Отримано результат вимірювання топологічних елементів шкал та сіток телевізійною вимірювальною системою розміром 10 ± 0,5 мкм, а при застосуванні Фур'є-перетворення - 10 ± 0,06 мкм.