Притчин О. С. Моделі, методи та інформаційна технологія моніторингу розподілу домішок в злитках монокристалічного кремнію в процесі росту

Дисертаційна робота присвячена розв'язанню актуальної наукової задачі розробки моделей, методу та інформаційної технології моніторингу розподілу домішок в злитках монокристалічного кремнію в процесі росту. Для досягнення поставленої мети удосконалено модель осьового розподілу легуючої домішки в злитку кремнію, розроблена структура багатоагентної системи віртуального моніторингу осьового розподілу легуючої домішки в процесі росту злитка, удосконалено метод визначення осьової нерівномірності розподілу легуючої домішки в злитку кремнію, розроблено алгоритм моніторингу розподілу легуючої домішки в злитках кремнію, який забезпечує спільну роботу й координацію всіх агентів, що входять в запропоновану багатоагентну систему, удосконалено метод віртуального контролю температури в підкристальній області, заснований на регресійній моделі, розроблено програмне забезпечення для вирішення завдання інформаційної підтримки моніторингу осьової нерівномірності розподілу легуючої домішки в процесі росту злитка кремнію та розроблено інформаційну технологію моніторингу розподілу домішки в злитках кремнію в процесі їх росту.