Олійник О. О. Підвищення чутливості вимірювання мікроскопу нестаціонарної фотопружності для дослідження матеріалів електроніки

Дисертація присвячена вдосконаленню модуляційно-поляризаційного методу реєстрації механічних напружень шляхом підвищення чутливості вимірювання наведеного нестаціонарними процесами двопроменезаломлення в матеріалах електроніки. Проведено моделювання та технічну реалізацію фотопружного мікроскопу з підвищеною чутливістю на основі досліджень нестаціонарної фотопружності в матеріалах електроніки для вимірювання в них величини двопроменезаломлення. Описана методика розрахунку приповерхневих та внутрішніх механічних напружень. Продемонстроване практичне застосування фотопружного мікроскопу для вимірювання механічних переміщень фотопружних еталонів з градаційними змінами показників заломлення. На основі розрахунків спектрів шумів модулятора, теплового, структурного, та інших шумів показано, що серед шумових факторів в процесі вимірювання домінуючими є тепловий шум, шум підсилювача та низькочастотні вібрації. Для модуляції лінійної та циркулярної компоненти лазерного випромінювання використаний фотопружний модулятор. Для підвищення чутливості реєстрації корисного сигналу запропонована синтезований оптимальний кореляційний фільтр, який додатково реалізує функцію синхронно-фазового детектування корисного та опорного сигналів на фоні шумів. Отримані вирази, які описують відношення С/Ш на виході фотопружного мікроскопу та його методичну та інструментальну похибки. Проведений порівняльний аналіз модуляційно-поляризаційних приладів з розробленим фотопружним мікроскопом для вимірювання механічних напружень, пошуку оптичних неоднорідностей в матеріалах.