Рогоз В. М. Фізико-механічні властивості та мікроструктура покриттів на основі нітриду ніобію, легованого Si та Al.

Дисертаційну роботу присвячено комплексному дослідженню залежності морфології поверхні, структурних та субструктурних характеристик, елементного складу і механічних властивостей нанокомпозитних покриттів NbN, Nb-Si-N та Nb-Al-N від технологічних умов їх осадження. Виявлені особливості переходу від нанокристалічного покриття до нанокомпозитного покриття з аморфним прошарком між нанокристалітами шляхом зміни концентрації легувальної домішки кремнію та алюмінію відповідно. Показано, що підвищення негативного потенціалу на підкладці під час осадження позитивно впливає на механічні властивості нітриду ніобію. Збільшення твердості від 28 до 29,5 ГПа та модуля пружності від 240 до 290 ГПа відбувається за рахунок підвищення концентрації більш твердої фази в складі покриття. Легування кремнієм та алюмінієм спричиняє перехід від нанокристалічної структури до нанокомпозита, що зумовлює підвищення твердості до 31 ГПа та модуля пружності до 320 ГПа відповідно.