Сребнюк П. А. Структура та фізико-механічні властивості комбінованих іонно-плазмових кремнійвміщуючих функціональних покриттів

Дисертацію присвячено визначенню впливу фізико-технологічних параметрів осадження, зокрема парціального тиску робочого газу та потенціалу зміщення, на формування багатошарових нітридних покриттів, що складаються з кремнійвміщуючих шарів нітридних покриттів і шарів систем твердого нітриду, таких як (TiSi)N/MoN, (TiAlSi)N/CrN, (TiAlSi)N/ZrN, (TiAlSi)N/MoN, (TiAlSiY)N, (TiAlSiY)N/TiCr)N. Осадження проводилося з двох джерел. Показано, що збільшення парціального тиску азоту PN при осадженні призводить до зменшення вмісту кремнію та збільшення вмісту молібдену в покритті. Фазовий склад покриттів змінювався зі збільшенням парціального тиску азоту PN протягом процесу від TiN/Mo при найнижчому тиску до TiN/MoN при найвищому тиску. Існування структурного стану, залежного від потоку в шарах Ti-Si, призводить до утворення фази Ti5Si3 у покриттях з невеликою кількістю азоту (<20%) під час високотемпературного відпалу. При цьому твердість зростає до 45,2 ГПа. Формування кремнійвміщуючих шарів (TiAlSi)N під час осадження служить для досягнення надтвердих станів (49,5 ГПа) в одношаровому покритті, яке отримано з Uзміщ = – 200 В.