Артюшенко K. П. Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів.

Дисертаційна робота присвячена дослідженню характеристик катодного шару і позитивного стовпа тліючого розряду, а також приелектродного шару і квазінейтральної плазми ВЧ ємнісного розряду. Отримано, що в усьому дослідженому діапазоні тиску водню (0,07 – 2 Торр) для опису катодного шару треба застосовувати тільки закон Чайльда–Ленгмюра для постійної рухливості іонів. Для катодного шару в N2O при тиску нижче 0,3 Торр справедливий закон для постійної рухливості іонів, при тиску вище 0,75 Торр – закон для постійної довжини вільного пробігу іонів, а в перехідному діапазоні тиску (між 0,3 і 0,75 Торр) жоден із законів Чайльда–Ленгмюра не описує коректно катодний шар тліючого розряду. Показано, що відношення нормальної густини струму до квадрату тиску газу J/p2 зберігається постійним тільки при тиску N2O, аргону, водню і кисню вище 1 Торр, але при зниженні тиску J/p2 швидко зростає. Встановлено причину, яка викликає необхідність збільшення падіння напруги на електродах і товщини катодного шару при віддаленні аноду крізь негативне світіння. Для підтримки фіксованим розрядного струму на анод, що рухається крізь негативне світіння, потрібно підвищувати напругу на електродах, щоб забезпечити досить високий струм швидких електронів, що вийшли з катодного шару й переважно переносять струм на анод. Розроблено аналітичну модель для зведеного електричного поля для E/p в позитивному стовпі тліючого розряду в інертних і молекулярних газах. Отримано прості формули для E/p, що добре описують результати експериментів. Розроблено аналітичну модель для позитивного стовпа тліючого розряду в аргоні, що враховує вплив метастабільних атомів на величину зведеного електричного поля. Розроблено аналітичну модель слабкострумової моди ВЧ ємнісного розряду, в якій розглянуті окремі випадки постійної довжини вільного пробігу і постійної рухливості позитивних іонів в приелектродних шарах. Експериментально і теоретично показано, що нормальна густина струму ВЧ ємнісного розряду пропорційна тиску газу.