Малєєв М. В. Особливості процесу формування покриттів із прискорених потоків іонів С60

В роботі виконано комплексне дослідження особливостей взаємодії прискорених іонів фулерену з поверхнею твердого тіла при опроміненні мішеней ITO, Si, SiO2 і скловуглецю в інтервалі енергій іонів 2,5-20 кеВ. Вивчено процеси ерозії опромінених мішеней, встановлені закономірності формування структури вуглецевих плівок, одержаних з молекулярних і іонних потоків фулерену С60, їх механічних і електричних властивостей. Експериментально встановлено, що збільшення енергії осаджених іонів (Еі) призводить до зміни процесу зростання вуглецевих плівок на процес ерозії самої мішені. Структура вуглецевих плівок з підвищенням енергії іонів Ei змінюється від аморфної алмазоподібної до нанокомпозитної з включеннями нанокристалів графіту. Одержані вуглецеві плівки характеризуються високою твердістю, яка з підвищенням енергії пучка зменшується. Температурна залежність електропровідності вуглецевих плівок в інтервалі температур від кімнатної до температури кипіння рідкого азоту виявила три механізми переносу заряду, які превалюють у плівках з різним структурним станом.