Закієв В. І. Прилад безконтактного вимірювання геометричних параметрів поверхні виробів методом інтерферометрії

Дисертаційна робота присвячена розробці автоматизованого інтерференційного профілометра для безконтактного вимірювання мікро- та нанотопографії поверхні, її тривимірного представлення, визначення показників шорсткості та параметрів, що характеризують особливості форми поверхні. Для забезпечення керованого переміщення опорного дзеркала інтерферометра розроблена нова конструкція електромагнітного актюатора еталонного дзеркала з електронною платою керування. Принцип роботи профілометра базується на реєстрації інтенсивності інтерференційних смуг в кожній точці приладу з зарядовим зв'язком при нульовій різниці ходу світлових хвиль в інтерферометрі для відповідного положення рухомого дзеркала. Автоматизація роботи приладу забезпечується спеціально розробленим програмним забезпеченням, що використовується для управління, налаштування, збору, обробки, та збереження даних, а також для фільтрації та тривимірної візуалізації отриманих результатів. Для забезпечення потрібних метрологічних і технічних характеристик розроблено методику автоматичного юстирування приладу. Сутність методики полягає в пошуку кількості кроків рухомого дзеркала, яке необхідне для зміщення інтерференційної картини на половину довжини світлової хвилі. Експериментально підтверджено практичне використання розробленого приладу для вирішення багатьох науково-практичних завдань.