Коваленко О. В. Підвищення експлуатаційних властивостей тонкоплівкових покриттів термічною обробкою та іонною імплантацією

Дисертація присвячена дослідженню структури утворення поверхневих наношарів, що сформовані іонно-плазмовим методом за допомогою комплексного підходу для досягнення необхідних магнітооптичних властивостей приладів різного призначення. Вони одержані на основі фізичних методів досліджень з використанням резерфордівського зворотнього розсіювання, месбауерівської спетроскопії конверсійних електронів та вимірювання прозорості при їх формуванні, а також з використанням технологічних процесів термічного відпалу та імплантації іонами. На всіх етапах отримання та обробки різних за складом наноплівок, порівняльно вивчали структурні зміни, що відбуваються у них: оцінювали та корегували ступінь формування неоднорідності та прозорості, коефіцієнти дифузії, вісі легкого намагнічування у площину плівки, а також вплив підкладки та перехідного шару. В роботі надані рекомендації по оптимальним параметрам одержання таких покриттів для потреб промислового використання.