Повх М. М. Природне старіння іонно-імплантованих шарів епітаксійних плівок та монокристалів гранату.

У роботі, використовуючи метод двокристальної Х-променевої дифракто¬метрії та статистичну динамічну теорію розсіяння Х-променів, встановлено закономірності перебудови кристалічної структури імпланто¬ваних іонами Не+, В+ та F+ епітаксійних плівок та монокристалів гранатів при іонній імплантації та природному старінні за кімнатних температур. Отримано співвідношення, які дають можливість врахувати анізотропію в орієнтації призматичних кластерів, для обчислення статичного фактора Кривоглаза-Дебая-Валлера та коефіцієнта екстинкції. Встановлено, що природне старіння приповерхневих порушених шарів епітаксійних плівок і монокристалів гранатів імплантованих іонам Не+, В+ та F+ характеризується двома стадіями, які проявляються у рості максимальної деформації на першому етапі старіння та подальшому зменшенні величини деформації по всій товщині порушеного шару. Показано вплив пружної деформації гетероструктури на ступінь розупорядкування приповерхневих шарів при іонній імплантації, вигляд профілів деформації та процеси природного старіння іонно-імплантованих ФГП за кімнатної температури. Встановлено, що зміни структури приповерхневих шарів плівок LaGa:ЗІГ у процесі природного старіння після імплантації іонами F+ та лазерного відпалу залежать від того, зі сторони імплантованого шару чи зі сторони підкладки відбувалося опромінення лазером. На відміну від лазерного опромінення зі сторони імплантованого шару, природне старіння впродовж 7 років зразка, відпаленого лазером зі сторони підкладки, до помітної зміни величини максимальної деформації не призводить, що вказує на ефективність використання лазерного відпалу для забезпечення термостабільності іонно-імплантованих ФГП.