Наумовец А. А. Изучение физико-химических механизмов смены электрофизических параметров контактов металл-арсенид галия под влиянием гамма-радиации и ионов аргона

Объект исследования: Барьерные и омические контакты металл-арсенид галия. Цель исследования: Исследование физико-химических механизмов изменения электрофизических свойств контактов металл-арсенид галия во время малодозовых гамма-радиационной6 электро-гамма-радиационной, термо-гамма-радиационной и ионно-лучевой обработок. Методы исследования и аппаратура: Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, дифракция рентгеновских лучей, просвечивающая электронная микроскопия, вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики, фотолюминесценция, индуктивный метод измерения контактного сопротивления. Теоретические результаты и новизна: Показано, что гамма-радиация и электрическое поле стимулируют дифузионное перераспределение металла в поле механических напряжений контакта, а также концентрационное расслоение твердых растворов золото-германий. Обработка поверхности арсенида галия ионами аргона сопровождается формированием вакансий мышьяка на глубинах до 0,85 мкм и вакансий галия наи. Практические результаты и новизна: Установлено, что улучшение электрофизических параметров контактов металл-арсенида галия при малодозовых гамма-радиационных влияиях связана с процессами релаксации механических напряжений и химической гомогенизации границы раздела контактов. Сфера (область) использования: Рекомендации по улучшению технологии производства приборов на основе контактов металл-арсенид галия: НВО "Сатурн", "Орион", "Карат", "Шторм" и другие.