Лиходед Л. С. Разработка композиционных материалов на основе силицидов кобальта, легированных бором, в виде порошка и мишеней для низкоомных тонкопленочных резисторах

Объект исследования: Порошки кобальта, кремния, бора, материалы и изделия из них. Цель исследования: Целью работы является разработка новых низкоомных композиционных материалов на основе силицидов кобальта, легированных бором, в виде порошка и мишеней для изготовления тонкопленочных резисторов. Методы исследования и аппаратура: Химический, металлографический, рентгеновский, микрорентгеновский спектральный, дифференциально-термический анализы, резистометрия: ДРОН-3, ДРОН-УМ1, "Стереоскан-4-10", "Comebax-50", "PRO-7oo", "Neophot-21". Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности структурных и фазовых превращений, которые происходят в процессе высокотемпературного твердофазового взаимодействия порошков простых веществ в системе Co-Si-B в вакууме; установлено отсутствие растворимости бора в силицидах кобальта; уточнена область существования твердого раствора кремния в кобальте. Практические результаты и новизна: Разработаны новые материалы для тонкопленочных резисторов, что позволяет перекрыть диапазон поверхностных сопротивлений от 1 до 400 Ом/квадрат, обеспечивают высокую стабильность и отображение электрических параметров и способны работать под нагрузкой до 150 вт на квадратный сантиметр. Разработаны технологические процессы получения материалов в виде пор. Предмет и степень внедрения: Материалы НРМ и технологические процессы их получения в виде порошка и компактных изделий внедрено в полупромышленное производство. Эффективность внедрения: Разработанные материалы позволяют получать тонкопленочные резисторы с параметрами значительно превышающими параметры отечественных тонкопленочных элементов, а также заменить платину в тонкопленочных нагревателях сенсорных устройств. Сфера (область) использования: Радиоэлектроника, электронная техника, прибростроение.