Коломоец Г. П. Исследование токовых флуктуаций в потенциальных барьерах кремниевых поликристаллических струтктур

Объект исследования: Образцы поликристаллического кремния, полученные разными технологическими средствами. Цель исследования: Экспериментальное и теоретическое исследование природы низкочастотного элеткрического шума, а также определение параметров границ зерен в поликристаллическом кремнии, полученному разными технологическими средствами. Методы исследования и аппаратура: Исследования токовых флуктуаций методом последовательной аналоговой фильтрации на специально сконструированной установке. Теоретические результаты и новизна: Дано пояснение нелинейности токовой зависимости шума активных границ зерен, выявлено минимум на зависимости шума поликремниевых резисторов от уровня легирования, получено энергетические спектры плотности границ состояний для поликремниевых образцов разной природы. Практические результаты и новизна: Предложено и реализовано методы измерений сопротивлений и сверхвредного шума квазинейтральной эмитерной области. Сфера (область) использования: Изготовление и эксплуатация полупроводниковых устройств с применением поликристаллического кремния.