Свиридов В. М. Влияние структурных неоднородностей на электронные свойства амофного гидрированного кремния

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0494U002353

Облікова картка дисертації

0494U002353.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.10 - Фізика напівпровідників і діелектриків

14-12-1993

Спеціалізована вчена рада

К 068.24.03

Анотація

Объект исследования: Тонкие пленки аморфоного гидрированного кремния. Цель исследования: Изучение электронных свойств структурных неоднородностей и внедрение методик исследования. Методы исследования и аппаратура: Ртутные сканирующие зонды и оригинальные электронные устройства. Теоретические результаты и новизна: Впервые проведена классификация неоднородностей электрических свойств пленок на плоскости. Практические результаты и новизна: Разработаны устройства и методики, которые помогли определить технологические параметры нанесения пленок. Сфера (область) использования: Микроэлектроника.

Читати повністю

Схожі дисертації

0523U100013

Луньов Сергій Валентинович

Вплив дефектної структури на електричні та тензоелектричні властивості монокристалів n-Ge та n-Si та плівкових наноструктур на їх основі

0522U100117

Птащенко Федір Олександрович

Вплив віддаленої взаємодії між домішковими атомами та поверхневими дефектами на процес формування, провідність та сенсорну чутливість до молекул NO2 і NH3 поруватого кремнію та інших кремнієвих структур.

0421U104048

Микитюк Тарас Іванович

Електричні, оптичні та фотоелектричні процеси в тонкоплівкових гетероструктурах CdS/CdMgTe

0521U102010

Борковська Людмила Володимирівна

Електронні та іонні процеси в світловипромінюючих напівпровідникових матеріалах на основі сполук А2В6 і А3В5

0521U101814

Коротєєв Вадим Вячеславович

Ефекти взаємодії терагерцового випромінювання з сильно нерівноважним електронним газом в об'ємних та низькорозмірних напівпровідникових структурах