Алексеев А. Е. Структурные свойства приповерхностного нарушенного слоя монокристаллов кремния

Объект исследования: Монокристаллические кремниевые подкладники и их приповерхностный нарушенный слой (ПНС). Цель исследования: Разработка модели, которая однопозиционно описывает распределение микродефектов в ПНС при разных условиях его создания. Методы исследования и аппаратура: Метод измерения локальной фотоЕРС, метод С-У характеристик в комплексе с послойным. Теоретические результаты и новизна: установлено, что структура ПНС является мультифрактальной, предложена точно рассчитанная модель локальной фотоЕРС. Практические результаты и новизна: Предложена методика определения распределения микродефектов в приповерхностном нарушенном слое. Предмет и степень внедрения: Результаты изложены в публикациях научных изданий и материалах конференций. Эффективность внедрения: Результаты позволяют осуществиить экспрессный прогноз выхода качественных изделий в микроэлектронике. Сфера (область) использования: Экспрессная диагностика полупроводниковых подкладок, сенсоры.