Кеньо Г. В. Прогнозирование и контроль параметров и характеристик приборов на основе структур кремний-на-изоляторе

Объект исследования: Приборы на основе структур "кремний-на-изоляторе". Цель исследования: Прогнозирование рабочих характеристик и исследование особенностей работы активных приборов на основе КНИ-структур. Методы исследования и аппаратура: Вольт-емкстный метод, метод лазерной рекристаллизации, аналитические методы решения уравлений Пуассона. Теоретические результаты и новизна: Разработана модель зарядового состояния КНИ-структуры, получены аналитические выражения для расчета ВФХ. Практические результаты и новизна: Разработан неразрушающий метод контроля параметров КНИ-структур, предложены способы устранения аномалий ВАХ КНИ МОП-транзисторов. Предмет и степень внедрения: Результаты использованы при создании КНИ-датчиков, при разработке п-МОП ИС серии К 1863. Эффективность внедрения: Оперативное выявление причин брака и корректирование технологического процесса. Сфера (область) использования: Полупроводниковая микроэлектроника.