Панкевич И. М. Прогнозирование и модификация лазерным излучением свойств слоев поликремния в структурах "Кремний-на-диэлектрике"

Объект исследования: Слои поликремния на диэлектрических подложках. Цель исследования: Установление основных закономерностей в изменениях свойств поликремния под действием лазерного облучения (ЛО) для получения качественных КНД-структур. Методы исследования и аппаратура: Метод просвечивающей электронной микроскопии, четырезондовый метод, численные методы расчета. Теоретические результаты и новизна: Разработана математическая модель явлений переноса в слоях поликремния на основе нового метода в кинетической теории. Практические результаты и новизна: Установлены закономерности в изменениях свойств поликремния под действием ЛО и предложено способ улучшения температурной стабильности параметров материала. Предмет и степень внедрения: Использованы при создании датчиков давления. Эффективность внедрения: Улучшение воспроизводимости параметров материала и повышение быстродействия приборов, изготовленных на его основе. Сфера (область) использования: Приборостроение, в т.ч. микроэлектронное.