Канашевич Г. В. Электронно-лучевая обработка поверхности плат оптических интегральных схем

Объект исследования: Плата оптических интегральных схем. Цель исследования: Разработка новой технологии электронно-лучевой обраотки стеклянных плат оптческих интегральных схем, обеспечивающей необходимые характеристики их поверхности. Методы исследования и аппаратура: Математическое моделирование, лазер, ионный обмен, растворение в кислотах, поляриметр-полярископ, интерферометр. Теоретические результаты и новизна: Феноменологическая /описательная/ модель взаимодействия электронного пучка с поверхностным слоем оптического стекла. Исследование характера остаточных напряжений. Практические результаты и новизна: Технология финишной электронно-лучевой обработки оптиче6ского стекла применена для доведения поверхности плат после их механической обработки, разработаны методики исследования стекла после обработки электронным лучем. Предмет и степень внедрения: Промышленное использование. Эффективность внедрения: Получение бездефектных поверхностей плат. Сфера (область) использования: Интегральная оптика.