Лебедева Т. С. Разработка метода анодной спектроскопии и исследование формирования анодных окисных пленок применительно к тонкопленочным технологиям

Объект исследования: Анодная спектроскопия, пленочные структуры, тонкопленочные технологии. Цель исследования: Разработка метода анодной спектроскопии применительно к тонкопленочной технологии, исследования тонкопленочных структур, создание системы экспресс-контроля, исследование формовки анодных окисных пленок, разработка тонкопленочных технологий с разносторонним использованием анодного окисления. Методы исследования и аппаратура: Анодная спектроскопия, специально созданное оборудование, вакуумное оборудование. Теоретические результаты и новизна: Разработн метод анодной спектроскопии для расчета переметров пленок и тонкопленочных структур по профилям анодирования. Практические результаты и новизна: Разработан комплекс оборудования для анодной спектроскопии, создана система экспресс-контроля, с их помощью реализованы технологии сверхпроводниковых пленочных микросхем, пористых пленок и др. Предмет и степень внедрения: 1992 г. - оборудование для анодной спектроскопии, 1996 - система экспресс-контроля. Эффективность внедрения: Оборудование для других методов анализа с такой же информативностью - сотни тыс.$. Сфера (область) использования: Тонкопленочные технологии, материаловедение.