Будянский А. М. Оптимизация систем ионно-лучевого и плазмо-химического травления на базе высокочастотного разряда

Объект исследования: Диодный эффект, приэлектродные слои и электрический импеданс плазмы в ВЧ плазменном конденсатлре. Цель исследования: Получить широкий комплекс экспериментальных данных, построить на его основе математическую модель электрического импеданса плазмы и создать управляемый ВЧ индукционный плазменный конденсатор, разработать оборудование для плазменной обработки микроструктур. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные измерения, аналитические и численные расчеты, разработка и оптимизация экспериментально-технологического оборудования. Теоретические результаты и новизна: Построена оригинальная аналитическая модель электрического импеданса ВЧ плазменного конденсатора, справедливая в интервале промежуточных и низких давлений газа. Практические результаты и новизна: На базе ВЧ индукционного плазменного конденсатора разработаны оригинальные устройства источника низкоэнергетичных ионов и реактора плазмо-химического травления. Сфера (область) использования: Физика газового разряда, электронное машиностроение. ИЯИ НАНУ, ННЦ ХФТИ, ХАИ, ХГУ, НФТЦ, НИИЯФ МГУ, ФТИ РАН, НПО "Сатурн", НПО "Электроника".