Новиков А. А. Физические основы и применение высоковольтного тлеющего разряда в электронно-лучевых технологиях

Объект исследования: Технологические источники электронов высоковольтного тлеющего разряда (ИЭЛ ВТР). Цель исследования: Разработка методов и способов повышения уровня параметров и эффективности ИЭЛ ВТР, их надежности и долголетия. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные и аналитические с использованием макетов и машинного моделирования. Теоретические результаты и новизна: Методы проектирования ИЭЛ ВТР с использованием численных методов проектирования. Практические результаты и новизна: Новые конструкции и способы управления ИЭЛ ВТР и области их применения. Предмет и степень внедрения: Способы и устройства технологических систем с ИЭЛ ВТР. Эффективность внедрения: Экономический эффект составил в ценах 1982-1987 гг. около 600 тысяч рублей. Сфера (область) использования: Электронно-лучевая и плазменная технология.