Шагінян Л. Р. Механізми формування тонких плівок, отримуваних різними методами іонно-плазмового осаджування

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0501U000234

Облікова картка дисертації

0501U000234.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

06-06-2001

Спеціалізована вчена рада

Д 06.207.01

Анотація

Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей та виявленню найважливіших фізичних факторів, відповідальних за формування складу і структури плівок, отримуваних: реакційним термоіонним осаджуванням, різними модифікаціями магнетронного розпилення, методом активованого СВЧ-розрядом хімічного осадження і лазерного импульсного випаровування. Встановлено, що вид плівкоутворювальних частинок (атоми, молекули, атомні кластери) і енергія частинок, що находять на поверхню росту, для всіх методів осадження є універсальними факторами, що визначають їхній склад і структуру. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад плівкоутворювальних частинок і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Отримані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок залежно від методу осаджування та усвідомлено підходити до їхнього керування. (див. продовження)

Читати повністю

Файли

Введение.doc

ГЛАВА1.doc

ГЛАВА2.doc

ГЛАВА3.doc

ГЛАВА4.doc

ГЛАВА5.doc

Заключение.doc

титул.doc

Схожі дисертації

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів

0521U102118

Корнющенко Ганна Сергіївна

Структуроутворення і фізичні властивості близькорівноважних металевих, оксидних та багатокомпонентних конденсатів з нанорозмірними елементами