Багмут О. Г. Формування структури і фазові перетворення при імпульсній лазерній конденсації металевих, оксидних і напівпровідникових плівок

Об'єкт - процес формування структури і фазові перетворення при імпульсній лазерній конденсації металевих, оксидних і напівпровідникових плівок; мета - розв'язання проблеми механ(зм(в формування і фазових перетворень в пл(вках, осаджених (мпульсним лазерним розпиленням; методи - електронографія, трансмісійна електронна мікроскопія, мессбауеровська спектроскопія і спектроскопія зворотного резерфордівського розсіювання іонів. Результати, новизна - Вперше встановлено фізичні закономірності процесів формування структури при дискретному осадженні на підкладку пароплазмового потоку, сформованого імпульсним лазерним розпиленням одноелементних металевих і напівпровідникових мішеней, а також досліджено структурні і фазові перетворення у плівках у постконденсаційний період. Запропоновано моделі і встановлено умови утворення епітаксійних, полікристалічних і аморфізованих газонасичених конгломератних структур. Детально досліджено стадії росту й експериментально обґрунтовано модель поверхні епітаксіального лазерного конденсату, що визначає структурні перебудови при подальшому відпалі чи при природному старінні. На підставі узагальнення всіх отриманих даних уперше виявлені і класифіковані основні типи структурних і фазових станів, характер нерівноважності і типи релаксаційних процесів, що протікають у постконденсаційний період у лазерних конденсатах з різним ступенем хімічної активності. Галузь використання - фізика тонких плівок.