Заславський О. М. Закономірності струкуроутворення в вакуумних конденсатах оксидів металів ІІІ та ІV груп і їх бінарних композицій

За допомогою методів рентгеноспектрального мікроаналізу, растрової та трансмісійної електронної мікроскопії, електронографіі, рентгенографічного аналізу та математичного моделювання встановлено закономірності структуроутворення в одержаних методами лазерного та електронно-променевого випаровування вакуумних конденсатах оксидів металів III та IV груп та їх бінарних композицій. Досліджено вплив температури осадження на поліморфізм індивідуальних оксидів в вакуумних конденсатах і встановлено температурні межі існування їх поліморфних модифікацій. Визначено вплив температури осадження і величини радіусу тризарядного катіону на стабілізацію флюоритних структур в вакуумних конденсатах. Визначено температурно-концентраційні межі утворення твердих розчинів різних структурних типів та їх термічна стабільність. Визначено вплив параметрів осадження на утворення метастабільних фаз та твердих розчинів. Оптимізовані умови синтезу у вакуумних оксидних конденсатах складних сполук високосиметричної структури при випаровування механічної суміші вихідних компонентів. Встановлено вплив температури осадження на утворення фаз дефіцитних за оксигеном. Проведено співставлення закономірностей структуроутворення в конденсатах, одержаних електроннопроменевим та лазерним випаровуванням, а також висвітлено вплив швидкості осадження на зміну механізму конденсації. Показані переваги лазерного методу випаровування для створення покриттів із заданими властивостями. Запропоновано модель структуроутворення у вакуумних оксидних конденсатах і суттєво розвинуто уявлення про структурні зони в них.