Павлова О. П. Формування фазового складу, структури та властивостей нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Ti, Ta, Pt на монокристалічному кремнії

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0507U000616

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.07 - Фізика твердого тіла

24-10-2007

Спеціалізована вчена рада

Д 26.207.01

Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича Національної академії наук України

Анотація

Дисертація виконана в області плівкового матеріалознавства і присвячена вирішенню матеріалознавчих і технологічних задач, пов'язаних з проблемою мініатюризації мікросхем та мікроприладів і переходом до нанотехнологій, створенню нових матеріалів, що задовольняють вимогам нанотехнологій. За допомогою застосування комплексу сучасних методів фізичного матеріалознавства встановлені закономірності процесів дифузійного формування стабільних нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Та, Ті, Pt на монокристалічному кремнії.

Файли

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів