Павлова О. П. Формування фазового складу, структури та властивостей нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Ti, Ta, Pt на монокристалічному кремнії

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0507U000616

Облікова картка дисертації

0507U000616.pdf

Здобувач

Павлова Олена Петрівна

Спеціальність

01.04.07 - Фізика твердого тіла

Дата захисту

24-10-2007

Спеціалізована вчена рада

Д 26.207.01

Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича Національної академії наук України

Анотація

Дисертація виконана в області плівкового матеріалознавства і присвячена вирішенню матеріалознавчих і технологічних задач, пов'язаних з проблемою мініатюризації мікросхем та мікроприладів і переходом до нанотехнологій, створенню нових матеріалів, що задовольняють вимогам нанотехнологій. За допомогою застосування комплексу сучасних методів фізичного матеріалознавства встановлені закономірності процесів дифузійного формування стабільних нанорозмірних плівок силіцидів перехідних металів Co, Mn, Ni, Та, Ті, Pt на монокристалічному кремнії.

Читати повністю

Керівник роботи

Сидоренко Сергій Іванович

Офіційні опоненти

Макара Володимир Арсенійович
Пугачов Анатолій Тарасович
Сміян Олег Дмитрович

Файли

aref.doc

dis1.doc

dis10.doc

dis11.doc

dis12.doc

dis13.doc

dis2.doc

dis3.doc

dis4.doc

dis5.doc

dis6.doc

dis7.doc

dis8.doc

dis9.doc

ВИСНОВОК 2.jpg

ВИСНОВОК 3_1.jpg

ВИСНОВОК 3_2.jpg

ВИСНОВОК 4_1.jpg

ВИСНОВОК 4_2.jpg

ВИСНОВОК1.jpg

Схожі дисертації

0424U000081

Чурілов Ігор Георгійович

Особливості термічного впливу на морфологічні зміни і механізм утворення рідкої фази у конденсованих однокомпонентних плівках (Pb, Sn, In, Bi) та у бінарних шаруватих плівках (Bi/Sn, Pb/Sn, Pb/In)

0424U000065

Мазур Дмитро Вікторович

Особливостi рентґенiвських спектрiв поглинання та магнiтного циркулярного дихроїзму оксиґенвмiсних сполук на основi металiв 4-го перiоду

0523U100214

Олійник Сергій Володимирович

Фізичні основи формування електричних та фотоелектричних властивостей кристалів AIIBVI і електричних властивостей багатокомпонентних покриттів

0522U100045

Богданов Євген Іванович

Ефекти азимутальної асиметрії розсіяння випромінення у кристалах та новітні можливості дифузнодинамічної дифрактометрії

0522U100002

Владимирський Ігор Анатолійович

Термодифузійні структурно-фазові зміни в гетерогенних системах на основі магнітних і немагнітних наношарів