Мельник В. П. Процеси масопереносу та формування нанорозмірних фаз в твердому тілі, стимульовані іонними пучками

Дисертація присвячена дослідженню процесів взаємодії потоків заряджених частинок з твердотільними структурами і встановленню фізичних механізмів іонно-стимульованого формування, реконструкції та модифікації нанорозмірних фаз. Показано, що використання керованої іонно-променевої стимуляції процесів масопереносу дозволяє ефективно впливати на протікання квазіхімічних реакцій в твердотільній матриці при формуванні і модифікації: прихованих діелектричних шарів в кремнії; нанокластерів кремнію в діелектричній матриці; тонких поверхневих плівок SiGe та нанокристалічних термохромних діоксиду ванадію та ін. Вказані ефекти описуються в рамках запропонованих фізичних моделей, які враховують вплив механічних напружень, системи радіаційних дефектів та домішок на зародження і трансформацію нанорозмірних фаз в твердому тілі. Розроблено оригінальний метод іонно-променевого синтезу еталонних зразків для забезпечення прецизійного кількісного елементного аналізу твердотільних матриць з нанометровою роздільною здатністю по глибині. Вказані ефекти і метод використано для створення мікро/нано/оптоелектронних наноструктур з новими функціональними можливостями.