Коструба А. М. Еліпсометрія ультратонких плівкових структур

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0516U000717

Облікова картка дисертації

0516U000717.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.05 - Оптика, лазерна фізика

01-09-2016

Спеціалізована вчена рада

Д 35.071.01

Інститут фізичної оптики імені О.Г. Влоха Міністерства освіти і науки України

Анотація

Вперше вирішено проблему незалежного визначення товщини і показника заломлення прозорих ультратонких плівкових структур в умовах низького оптичного контрасту на поверхні плівка-підкладка. Запропоновано оригінальний метод вимірювань і розв'язування оберненої задачі еліпсометрії для системи "ультратонка прозора плівка - прозора підкладка" в діапазоні товщини 1,0-20,0 нм. Вперше показано, що методика розрахунку середньоквадратичної похибки дозволяє об'єднати аналіз чутливості еліпсометричних вимірювань із кореляційним аналізом при одночасному визначенні трьох параметрів ультратонкої поглинаючої плівки. Проведено апробацію запропонованих методик.

Читати повністю

Файли

aref.pdf

dis.pdf

Схожі дисертації

0523U100268

Адаменко Дмитро Ігорович

Оптична активність та її вплив на акустооптичну взаємодію в фероїчних кристалах

0422U100057

Смалюк Андрій Павлович

Вимушене комбінаційне розсіяння світла лазерних барвників у везикулярних полімерних плівках

0521U101997

Кузнєцова Ганна Олександрівна

Теоретична спектроскопія складних атомних систем в інтенсивному електромагнітному полі

0521U101944

Терновський Валентин Борисович

Релятивістська спектроскопія важких атомів з урахуванням обмінно-кореляційних та радіаційних ефектів

0521U101943

Ігнатенко Ганна Володимирівна

Теоретична спектроскопія та динаміка молекулярних систем у вільному стані та в зовнішньому електромагнітному полі з урахуванням ефектів хаосу