Сичікова Я. О. Науково-методологічні засади оцінювання якості й властивостей наноструктур на поверхні напівпровідників

1. У дисертаційній роботі вирішено актуальне завдання розробки систем оцінювання якості наноструктур, сформованих на поверхні напівпровідників. На основі аналізу сучасних методів, засобів та нормативних документів з контролю якості й методів синтезу наноструктур виділено основні підходи до класифікації, дослідження та аналізу властивостей наноструктур. На основі принципів системного й процесного підходів створено узагальнену модель синтезу наноструктур із заданим рівнем якості на поверхні напівпровідників. З метою забезпечення й поліпшення якості наноструктур встановлено технологічні чинники синтезу та стабілізації властивостей наноструктур. Визначено узагальнений критерій і розроблено методику оцінювання якості наноструктур, синтезованих на поверхні напівпровідників, що дозволить здійснювати порівняння однотипних зразків наноструктур та відповідність їх еталонним. Розроблено алгоритм та методику оцінювання наноматеріалів за ступенем потенційної небезпеки. Проведено оцінювання відповідності синтезованих поруватих шарів функціональному призначенню для застосувань у якості матеріалу фотоелектричних перетворювачів та суперконденсаторів.