Политанский Л. Ф. Разработка высоковольтных переключающих устройств на ПНОМ-структурах

Объект исследования: Структуры системы алюминий-диоксид кремния-кремний. Цель исследования: Разработка конструкций и промышленных технологий производства мощных переключателей МДН-транзисторов и ИС на их основе, комлпексное исследование физических процессов, которые имеют место в этих структурах. Методы исследования и аппаратура: Разработка математических моделей, технологии и конструкции, изготолвение и экспериментальное исследование особенностей ПНОМ-структур проводилось с использованием персональных компьютеров, специального технологического и измерительного оборудования. Теоретические результаты и новизна: Разработаны математические модели ПНОМ-структур в приближении экспоненционного распределения примесей, исследованное распределение потенциалов в структурах на основе решения уравнения Пуассона. Практические результаты и новизна: Разработаны конструктивно-технологичекие методы создания переключателей на ПНОМ-структурах. Теоретически обоснованы и экспериментально осуществлены оригинальная конструкция и метод повышения пробивных напряжений переключателей МОН-транзисторов. Предмет и степень внедрения: С использованием результатов работы разработанный ряд ИС и полупроводниковых устройств, объем производства которых в 1992 г. составляет 20 млн. штук. Эффективность внедрения: Экономический эффект внедрения на 01.01.92 г. составляет 30 млн. крб. Сфера (область) использования: Результаты работы используются на предприятиях Министерства машиностроения Украины, а также могут использоваться при чтении спецкурсов в ВУЗах Украины.