Потецки Е. С. Толстопленочные RC структуры с распределенными параметрами и микроэлектронные преобразователи на их основе

Объект исследования: Микроэлектроные преобразователи, RC структуры с распределенными параметрами. Цель исследования: Разработка теории, конструкции, технологии толстопленочных RC структур и преобразователей на их основе. Методы исследования и аппаратура: Рентгенография, электронная микроскопия, ожеспектроскопия. Теоретические результаты и новизна: Общая теория преобразователей, новые составы материалов, новые структуры типа DRC-R и DRC-DRC. Практические результаты и новизна: НОвые преобразователи, определены общие принципы подбора материалов. Эффективность внедрения: Повышенные технологические параметры. Сфера (область) использования: Различные системы измерения и управления.