Ващенко В. А. Научные основы управления качеством электронно-лучевой обработки изделий из специальных оптических материалов

Объект исследования: Изделия микроэлектроники, интегральной и волоконной оптики, ИК-техники, изготволенные из оптических стекол и керамик. Цель исследования: Управление качественными характеристиками поверхности и поверхностных слоев изделий из оптических материалов, обрабатываемых подвижным электронным лучом. Методы исследования и аппаратура: Оптическая и электронная микроскопия, рентгенофазный анализ; математическое моделирвоание и численный анализ; электронно-лучевое оборудование, испытательные стенды. Теоретические результаты и новизна: Разработаны методы расчета теплового воздействия на изделия условий их эксплуатации и электронного луча. Практические результаты и новизна: Установлены закономерности влияния технологических параметров луча на качественные характеристики поверхностных слоев изделий; проведены испытания изделий в новых условиях. Предмет и степень внедрения: Электронно-лучевое и испытательное оборудование, методики расчетов, экспериментальные данные. Эффективность внедрения: При разработке серийных изделий точного приборостроения, ИК-техники, аэрокосмических объектов. Сфера (область) использования: микроэлектроника, наноэлектроника, интегральная и волоконная оптика, ИК-техника.