Саєнко В. А. Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів і термоіонному напиленні.

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0599U000308

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.02 - Вакуумна, плазмова та квантова електроніка

21-06-1999

Спеціалізована вчена рада

Д26.002.08

Анотація

Досліджені властивості, характеристики і параметри стаціонарних електричних розрядів з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в техніці і технології. Використані електротехнічні,плазмові, корпускулярні, оптичні, ядерно-фізичні та інші методики. Пояснені основні статичні характеристики розрядів з однорідним випаровуванням катода або анода, запропоновано тріодний, пучково-плазмовий та пучково-магнетрронний розряди з випаровуванням електрода, які мають велику перспективу. Розробки використовуються в електроніці, мікромеханіці, лазерній та радіаційній техніці, машинобудуванні, приладобудуванні.

Схожі дисертації