Халед І. М. Розробка та дослiдження технологiчного процесу лазерного розподiлу напiвпровiдникових пластин на елементи

У роботi розроблена оригiнальна методика визначення температурних залежностей оптичних властивостей матерiалiв, що заснована на застосуваннi засобiв нелiнiйного програмування, причому в якостi функцiї цiлi використовували min квадрату рiзницi мiж розрахованою потужнiстю i потужнiстю пучку лазерного випромiнювання, що пройшла наскрiзь зразок та була вимiряна приймачем у вiдповiдний момент часу з одночасною фiксацiєю потужностi пучку випромiнювання що, надiйшла до деталi, що оброблюється, i вiдбитої вiд неї. За допомогою розробленої методики в роботi визначенi залежностi коефiцiєнтiв вiдбивання i поглинання моно i полiкристалiчного кремнiю вiд температури (довжина хвилi випромiнювання - 1.06мкм). Крiм того, установлено, що при високих густинах енергiї сфокусованого лазерного випромiнювання, вiдбувається нiвелювання впливу оптичних властивостей полi i монокристалiв на результат нагрiвання. Методами планування експериментiв отриманi моделi процесу рiзання полiкристалiчного кремнiю (товщина 0.3-0.5мм) сфоку сованим скануючим лазерним променем