Данчишин І. В. Розробка методів та засобів забезпечення технологічності МОН-струк- тур мікроелектронних пристроїв в умовах автоматизованого виробництва

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0400U001656

Облікова картка дисертації

0400U001656.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

01-06-2000

Спеціалізована вчена рада

К 76.051.06

Анотація

Об'єкт дослiдження-мікроелектронні пристрої на основі МОН-структур. Мета дослiдження-розроблення методики синтезу конструктивно-технологічного варіанту мікроелектронних пристроїв шляхом врахування дефектності та кри- тичного об'єму їх елементів. Методи дослідження- матем. та фіз. моделюван- ня, експериментальні дослiдження. Новизна - розроблено комплексний пiдхiд до фіз.-технол. моделювання мікроелектронних пристроїв на МОН-структурах. Ступiнь упровадження - новi методи та засоби впроваджено у виробництво. Сфера використання - електронне приладобудування.

Читати повністю

Схожі дисертації

0424U000066

Гайдучок Володимир Григорович

Формування тонкоплівкових структур на полярних гранях кристалів LiNbO3

0421U103991

Галочкін Олександр Вікторович

Розробка радіаційно-стійких фотоструктур на основі напівпровідників А2В6 та А23В36

0421U103665

Воронько Андрій Олександрович

Гетероструктури на основі твердих розчинів А3В5 для волоконно-оптичних систем передачі інформації.

0421U103580

Королевич Любомир Миколайович

Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур

0421U103444

Пристай Тарас Віталійович

Модифікація властивостей холестеричних рідких кристалів нанодомішками для використання в оптичних сенсорах