Положій К. І. Формування потоків заряджених частинок у комбінованому індукційно-ємнісному ВЧ розряді

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U001613

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.08 - Фізика плазми

20-04-2001

Спеціалізована вчена рада

Д 64.051.12

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Анотація

В дисертації досліджується формування потоків заряджених частинок в індукційно- ємнісному ВЧ розряді. Побудована модель розподілу потужності. Встановлено залежність від параметрів розряду максимуму потужності прискорення іонів. З урахуванням розмірів шарів розвинуто модель індукційного розряду. Отримана область існування індукційного розряду. Знайдено параметри розряду, які відповідають максимальній ефективності процесу розпилювання в комбінованому розряді.

Схожі дисертації