Іларіонов О. Є. Твердотільні давачі температури та їх практичне використання.

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U002408

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

26-06-2001

Спеціалізована вчена рада

K 76.051.06

Анотація

Дисертацію присвячено розробці конструкції та технології виготовлення твердотільних давачів температури. Розроблено мідний термоперетворювач опору за допомогою використання тонкоплівкових технологій з використанням фотолітографії. Особливу увагу приділено вивченню часової стабільності параметрів розроблених термоперетворювачів опору. У якості метрологічного забезпечення для термодавачів використано термометр, який базується на явищі ядерного квадрупольного резонансу.

Схожі дисертації