Герасим В. В. Розробка перемикальних р-канальних МОН-структур, керованих малопотужними сигналами

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0401U002494

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

27-06-2001

Спеціалізована вчена рада

К76.051.06

Анотація

Розроблена конструкція вертикального МОН-транзистора з р-каналом, яка дозволяє отримати високу густину упаковки елементів. Оптимізовані технологічні методи одержання перемикальних р-канальних МОН-структур з подвійною дифузією. Для зниження дефектності і підвищення стабільності їх електрофізичних параметрів викоростані методи гетерування, які введені в оптимальний маршрут формування МОН-транзисторних структур.

Схожі дисертації