Рябухін О. О. Електродинамічні моделі резонаторних сенсорів у НВЧ діагностиці напівпровідників

Об’єкт – процес взаємодії НВЧ резонаторних сенсорів (РС) апертурного типу із шаруватими напівпровідниковими структурами; мета – розробка електродинамічних моделей РС; методи – метод часткових областей, функцій Гріна, Гальоркіна, методи пошуку комплексних коренів трансцендентних рівнянь, розв’язку систем лінійних алгебраїчних рівнянь та задач багатовимірної оптимізації, експериментальне дослідження характеристик НВЧ РС методом передачі; новизна та результати – вперше запропоновано і розроблено строгу чисельно-аналітичну електродинамічну модель апертурних РС, удосконалено наближену модель НВЧ РС ємнісного типу, розвинуто одномодове наближення моделей РС хвилеводного типу, встановлені області використання наближених моделей для описування РС хвилеводного і ємнісного типів, теоретично визначено та експериментально підтверджено екстремальний характер залежностей добротності і резонансної частоти РС від ступеня включення шаруватих напівпровідникових зразків в поле сенсора; результати можуть бути впровадженіу науково-дослідних інститутах та конструкторських бюро; галузь – НВЧ діагностика напівпровідників.